3月31日台積電在楠梓科學園區舉行高雄晶圓22廠2奈米製程擴產典禮，將斥資1.5兆元打造5座廠，其中2奈米預計今年下半年即開始量產。台積電執行副總經理秦永沛指出，2奈米是目前全球最先進半導體技術，比3奈米的速度提升10%到15%，功耗降低25%到30%。

　　AI和5G等高效能運算蓬勃發展，高階晶片需求快速成長，使半導體需求成長，台灣IC製造業的產值大致逐年升高，2024年比前1年增加28.4%為3.41兆元，預估2025年就會突破4兆元。

　　不過同一時間，先進製程需要更多原材料；愈精密的製程，要清洗和蝕刻次數愈多，化學品用量增加，導致廢棄物也大幅成長。工研院產科國際所經理廖鎔榆指出，根據估計，28奈米製程時，每片晶圓會產生40公斤廢棄物，而3奈米則讓每片晶圓產生220公斤廢棄物，是28奈米的5.6倍；未來到2奈米的下世代製程，則會達到13倍。2019年製造1片12吋晶圓，每一層平均產生1.58公斤廢棄物，預計到2030年將增加到3.09公斤廢棄物。

▍現況　有價值才回收　沒價值就廢棄

　　半導體產業無疑是台灣當前最重要的產業，工研院產科國際所經理張致吉指出，半導體製程耗材物料比重是75%非有機液體、20%有機液體，另有5%是氣體和固體。而廢棄化學品中，以硫酸和硫酸銨為最大宗，廢液即占了50%，另有氫氟酸、異丙醇、化學機械研磨汙泥等，不但量不斷增加，也處理不易。這些廢棄物由於回收需要成本，且若無法再利用就無利可圖，以至於目前呈現「有價回收、無價廢棄」的半循環現象。

　　另一個角度來看，目前半導體製程用的材料大多仰賴進口，隨著高精度化，材料使用量，也就是進口量會大增。但地緣政治風險日漸升高，材料供應不無斷鏈可能，讓使用的企業繃緊神經，如何分散風險是所有企業的當務之急，而資源再利用即是解方之一。

　　隨氣候變遷、資源枯竭等問題愈趨嚴重，相較於天然原料，循環的電子材料耗能較少，可以協助半導體產業鏈降低範疇三（不是由企業直接產生，而是外購企業等間接的溫室氣體排放）的碳足跡。如何兼顧永續和經濟，成為當今重要課題。

　　反映到經濟活動上，就像人的動脈和靜脈各司其職而成就生命一樣，使用天然資源加工後產製新產品，稱為動脈產業；動脈產業生產的產品，被消費後成為廢棄物，而將這些廢棄物回收再利用的產業，則稱為靜脈產業。基於前述各項因素，靜脈產業的關注度正與日俱增，不過建構不易。歐盟2015年就發布循環經濟行動計畫，之後多次更新，定位為2030年前的成長戰略。

▍改變　台積電帶頭做　零廢中心商轉

　　身為護國神山的台積電，基於減少廢棄物、提高環境效益和降低管理風險的綜合考量，在中部科學園區興建了「台中零廢製造中心」，2024年11月開始商轉。台積電指出，建築占地總面積4.5萬平方公尺，相當於6座標準足球場，長春石化、成信實業和立盈環保科技公司進駐，建設回收處理廠區。

　　異丙醇是晶圓清洗和溼式蝕刻製程的乾燥用溶劑，長春石化負責將廢異丙醇經過蒸餾、精餾等程序製成電子級異丙醇，回收廠每月收受量為2300公噸，可產出再生異丙醇量為300公噸。

　　另外半導體研磨製程的研磨液，會產生研磨廢水，經混凝處理沉降後產生氧化矽汙泥。成信將這些汙泥製成礦石粉和硫酸銅，回收廠每月收受量為800公噸，可產出填料量為480公噸。

　　使用於半導體蝕刻和清洗製程的氫氟酸，產生氫氟酸廢水經氟酸化混程序後產生氟化鈣汙泥，立盈製成人造螢石。目前回收廠每月收受量為1500公噸，可產出人造螢石量為750公噸。中心內另設有機溶劑熱回收廠，每月收受量1300公噸，可產出每小時15公噸蒸氣，未來將評估導入煙道氣碳捕捉技術。

　　以全廠區滿載計，每年台積電委外處理的廢棄物量可減少13萬公噸，占公司中科廢棄物總量的85%以上，回收減廢效益達12億元。同時減碳效益1年達40000公噸，相當於110座大安森林公園的碳吸附量。

▍成效　汙泥變螢石　助中鋼節能減碳

　　另一晶圓大廠聯電也參與打造靜脈產業，將投入18億元在南科廠區成立「循環經濟資源創生中心」，預計2025下半年啟用。聯電風險管理暨安環處指出，預估每年可將1.5萬公噸廢棄物轉換成資源化產品，減廢比率達1/3，並創造約1億元的綠色經濟效益；1年還可減少5000公噸碳排，相當於13座大安森林公園的碳吸附量。

　　即使成功將廢棄物製成產品，也要熟悉使用企業的需求，並不斷優化。例如中聯資源公司將氟化鈣汙泥製成人造螢石提供中鋼，達到資源循環的目的。中聯資源總經理吳一民解釋說：「煉鋼過程中加入螢石，可以降低爐渣的熔點，達到助熔的效果，並脫出鋼液中的一些雜質；它還兼具脫硫的功能，可提高鋼液的純淨度。」

　　中聯資源了解中鋼的需求，可控制人造螢石的強度，並將氟化鈣調整到最適合的濃度。因為氟化鈣濃度愈高，效果愈好；但濃度高，也會使成本拉高，中聯資源會評估管控，使效益和成本之間取得平衡。而且對中鋼來說，比起使用天然螢石，人造螢石不但可分散料源、減少進貨成本，也有助於降低範疇三的碳排。

　　不過靜脈產業仍有成長空間。成功大學資源工程系副教授陳偉聖認為，台灣半導體廢棄物產業有相當的競爭力，主要大型廢棄物循環大致都有解方。不過，成分和濃度較低、比較沒有回收效益的廢棄物，還有待努力。

▍契機　資源日漸減少　靜脈產業受關注

　　要把廢棄物製成高值化產品，甚至回到原製程而不降階，並找到願意使用的業者，本就不易；尤其循環經濟不只要循環，還要談「經濟」，不能不計成本。陳偉聖說：「半導體業對台灣那麼重要，我們做資源循環的人，本來就應該加把勁，盡力把所有東西從原先一次性拋棄式的使用，改為重複使用，提高資源效率。」

　　中國過去不太重視回收再利用，畢竟自己有很多礦源，但現在也把廢棄物中的資源當作戰備物資來源，去年9月成立了中國資源循環集團，把資源循環的地位提升到國家等級。美國總統川普對中國商品課徵高關稅，中國即採取管制重要稀土出口的反制行動。全球貿易緊張情勢升高的情況下，預料靜脈產業會收到更多關愛的目光。

作者：孫蓉萍（本文獲授權轉載自財訊雙週刊）